3188_ABR0008/2022

ABR0008/2022 Adquisición de un equipo de recubrimiento PVD-HIPIMS bipolar para deposición de capas finas sobre todo tipo de materiales

El objeto de este contrato es la adquisición de un equipo de recubrimiento por PVD consistente en cámara de alto vacío con su sistema de bombeo, 4 magnetrones (2 de ellos HiPIMS bipolares) con sus fuentes, fuente adicional para procesos de PECVD, soporte central para piezas con fuente de polarización (Bias), sistemas periféricos de calentamiento y enfriamiento, líneas de gases con sus caudalímetros másicos, más sensores, instrumentación y ordenador con el software adecuado para el control de los procesos., con destino a la UCTAI de la Universidad Pública de Navarra.